2023年09月21日 18:07:01
有研集團集成電路用高純?yōu)R射靶材項目正式投產(chǎn)
《科創(chuàng)板日報》21日訊,有研集團日前宣布,其所屬企業(yè)有研億金新材料有限公司“集成電路用高純?yōu)R射靶材項目”在山東德州正式投產(chǎn)。據(jù)悉,項目達產(chǎn)后將實現(xiàn)先進制程所需高端靶材規(guī)?;慨a(chǎn),公司此前開發(fā)的12英寸系列靶材已成功用于國內(nèi)先進制程邏輯芯片和存儲芯片。
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