《科創(chuàng)板日報(bào)》26日訊，日本中央硝子開發(fā)出了利用含有硅和碳的溶液來制造碳化硅基板的技術(shù)。該技術(shù)更容易增大基板尺寸以及提高品質(zhì)，可使基板的制造成本降低1成以上，不合格率也會大幅降低。中央硝子運(yùn)用該技術(shù)成功量產(chǎn)出了6英寸口徑基板。 (日經(jīng))