2024年07月08日 10:05:44
復(fù)旦大學(xué)魏大程團(tuán)隊(duì)研發(fā)半導(dǎo)體性光刻膠 實(shí)現(xiàn)特大規(guī)模集成度有機(jī)芯片制造
財(cái)聯(lián)社7月8日電,復(fù)旦大學(xué)高分子科學(xué)系、聚合物分子工程國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室魏大程團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)了一種新型半導(dǎo)體性光刻膠,利用光刻技術(shù)在全畫幅尺寸芯片上集成了2700萬個(gè)有機(jī)晶體管并實(shí)現(xiàn)了互連,在聚合物半導(dǎo)體芯片的集成度上實(shí)現(xiàn)新突破,集成度達(dá)到特大規(guī)模集成度水平。該成果以《基于光伏納米單元的高性能大規(guī)模集成有機(jī)光電晶體管》為題發(fā)表于《自然·納米技術(shù)》。目前,團(tuán)隊(duì)還研發(fā)出具有化學(xué)傳感功能、生物電傳感功能的光刻膠。該研究提出了一種功能型光刻膠的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)策略,將有望促進(jìn)高集成有機(jī)芯片領(lǐng)域的發(fā)展。經(jīng)過多年的技術(shù)累積,團(tuán)隊(duì)制備的有機(jī)芯片在集成度方面已達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平,該技術(shù)與商業(yè)微電子制造流程高度兼容,具有很好的應(yīng)用前景。“我們正在積極尋求產(chǎn)業(yè)界合作,希望能夠推動(dòng)科研成果的應(yīng)用轉(zhuǎn)化。未來,這種材料一方面能夠用于制造高集成度柔性芯片,另一方面由于其光刻兼容性,還有可能實(shí)現(xiàn)有機(jī)芯片與硅基芯片的功能集成,進(jìn)一步拓展硅基芯片的應(yīng)用?!眻F(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人魏大程說。
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